| Авторы |
Печерская Екатерина Анатольевна, доктор технических наук, доцент, заведующий кафедрой информационно- измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), pea1@list.ru
Зинченко Тимур Олегович, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), scar0243@gmail.com
Кравцов Александр Николаевич, кандидат технических наук, доцент, начальник кафедры метрологического обеспечения вооружения, военной и специальной техники, Военно- космическая академия имени А. Ф. Можайского (Россия, г. Санкт-Петербург, ул. Ждановская, 13), kan1970@bk.ru
Александров Владимир Сергеевич, студент, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), Nauka-fpite@mail.ru
Бержинская Марина Викторовна, кандидат технических наук, доцент, кафедра информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), mberj@mail.ru
|
| Аннотация |
Актуальность и цели. Преимущества метода спрей-пиролиза заключаются в способности производить высокооднородные пленки большой площади при приемлемых (от 100 до 500 °C) значениях температуры технологического процесса. Метод не требует использования вакуума на всех стадиях процесса. Цель исследования заключается в выборе оптимальных технологических параметров для получения прозрачных проводящих покрытий на основе диоксида олова, обладающих минимальным поверхностным сопротивлением.
Материалы и методы. Представлены технологические этапы процесса получения образцов прозрачных проводящих оксидов на основе диоксида олова в рамках подготовки поверхности стеклянных подложек, приготовления растворов прекурсоров, нанесения на поверхность подложек нелегированных и легированных сурьмой пленок диоксида олова.
Результаты. Разработана методика синтеза образцов прозрачных проводящих оксидов на основе диоксида олова методом спрей-пиролиза, эмпирически установлены оптимальные значения технологических параметров, нацеленных на достижение минимального поверхностного сопротивления образцов с покрытием SnO2.
Выводы. Предложенные технологические режимы позволят синтезировать методом спрей-пиролиза прозрачные проводящие оксиды на основе диоксида олова, обладающие поверхностным сопротивлением RS = 27 Ом/□, что соответствует современному мировому уровню промышленно производимых прозрачных проводящих покрытий на основе оксида индия, легированного оловом. Полученные результаты подтверждают целесообразность изготовления методом спрей-пиролиза прозрачных проводящих покрытий на основе диоксида олова.
|
| Список литературы |
1. Зинченко, Т. О. Анализ материалов, используемых для производства прозрачных проводящих покрытий / Т. О. Зинченко, Е. А. Печерская // Информационные технологии в науке и образовании. Проблемы и перспективы : сб. науч. ст. Всерос. межвуз. науч.- практ. конф. (г. Пенза, 14 марта 2018 г.) / под ред. Л. Р. Фионовой. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2018. – C. 256–258.
2. Зинченко, Т. О. Анализ методов получения прозрачных проводящих покрытий / Т. О. Зинченко, Е. А. Печерская // Информационные технологии в науке и
образовании. Проблемы и перспективы : сб. науч. ст. Всерос. межвуз. науч.практ. конф. (г. Пенза, 14 марта 2018 г.) / под ред. Л. Р. Фионовой. – Пенза :
Изд-во ПГУ, 2018. – 258 с.
3. Анализ локальных областей полупроводниковых нанообъектов методом туннельной атомно-силовой микроскопии / Н. А Лашкова, Н. В. Пермяков, А. И. Максимов, Ю. М. Спивак, В. А. Мошников // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Физико-
математические науки. – 2015. – № 1 (213). – С. 31–42.
4. Унтила, Г. Г. Влияние концентрации олова на состав, оптические и электрические свойства пленок ITO, осажденных методом ультразвукового спрей-пиролиза на кремний и стекло / Г. Г. Унтила, Т. Н. Кост, А. Б. Чеботарева, М. А. Тимофеев // Физика и техника полупроводников. – 2012. – Т. 46, № 7. – С. 984–990.
5. Кондрашин, В. И. Исследование динамических характеристик нагревателя подложек в установке для спрей пиролиза / В. И. Кондрашин, А. М. Метальников,
Р. М. Печерская, В. А. Соловьев // Труды Международного симпозиума Надежность и качество. – 2014. – Т. 2. – C. 147–148.
6. Биркина, Н. И. Методические рекомендации по проведению практических работ дисциплины Химия / Н. И. Биркина. – Ростов-на-Дону, 2015. – 48 с.
7. Долгов, В. В. Фотометрия в лабораторной практике / В. В. Долгов, Е. Н. Ованесов, К. А Щетникович. – Москва : Российская медицинская академия последи-
пломного образования, 2004. – Т. 103.
8. Zinchenko, T. O. The properties study of transparent conductive oxides (TCO) of tin dioxide (ATO) doped by antimony obtained by spray pyrolysis / T. O. Zinchenko,
E. A. Pecherskaya, D. V. Artamonov // AIMS Materials Science. – 2019. – Vol. 6 (2). – P. 276–287. – DOI 10.3934/matersci.2019.2.276.
9. Наумов, А. В. Обзор мирового рынка индия (Экономика индия) / А. В. Наумов // Известия высших учебных заведений. Цветная металлургия. – 2005. – №. 4. – С. 12–17.
10. Electrical properties of transparent conductive ATO coatings obtained by spray pyrolysis / T. O. Zinchenko, V. I. Kondrashin, E. A. Pecherskaya, A. S. Kozlyakov, K. O. Nikolaev, J. V. Shepeleva // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. – 2017. – Vol. 225 (1). – P. 012255.
|
